復(fù)合真空計(jì)由熱電偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組成。

　　一般來(lái)說(shuō)，對(duì)低真空和高真空的測(cè)量不能用復(fù)合真空計(jì)進(jìn)行，必須使用復(fù)合真空計(jì)，必須多應(yīng)用電離和熱電偶式復(fù)合功率計(jì)。測(cè)量范圍為13.33 - 666.610-8Pa-8pa。熱電偶真空計(jì)測(cè)量(10-1-10-3)  133.32PA的低真空電離真空計(jì)測(cè)量133.32 10-3-666.6 10-8PA的高真空。復(fù)合真空計(jì)有一個(gè)熱電偶管，一個(gè)電離管，每個(gè)都連接到真空系統(tǒng)，通過(guò)手柄可以分別加熱和使用兩個(gè)管道。

　　(1)連接熱電偶規(guī)、電離規(guī)和設(shè)備的電纜、插頭不能連接錯(cuò)誤，如果插錯(cuò)，監(jiān)管可能會(huì)被燒毀。

　　(2)在低真空測(cè)量中使用熱電偶規(guī)時(shí)，開關(guān)置于“加熱”位置，旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)器以加熱電流為給定值。然后把開關(guān)撥到“測(cè)量”位置，在表中就可以了。

　　(3)低真空測(cè)量使用電阻計(jì)時(shí)要進(jìn)行“零點(diǎn)”和“萬(wàn)度”校準(zhǔn)。

　　(4)使用電離規(guī)時(shí)，根據(jù)電離真空計(jì)工作。

　　(5)在測(cè)量過(guò)程中，整個(gè)系統(tǒng)電源電壓必須保持不變。真空度小于0.1Pa時(shí)，電離計(jì)不可用。

　　復(fù)合真空計(jì)的測(cè)量范圍是怎樣?

　　在壓力測(cè)量中，除了極少數(shù)直接測(cè)量外，絕大多數(shù)都是間接測(cè)量。首先在測(cè)量的氣體中產(chǎn)生一定的物理現(xiàn)象，然后在這個(gè)過(guò)程中測(cè)量與壓力相關(guān)的物理量，以確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn)，也可能引起某些問(wèn)題。

　　任何具體的物理現(xiàn)象和壓力之間的關(guān)系在特定的壓力范圍內(nèi)較明顯，超出這個(gè)范圍，關(guān)系就會(huì)變?nèi)?。因此，任何方法都有一定的測(cè)量范圍，這個(gè)范圍是真空計(jì)的“距離”。擴(kuò)大各種可能方法的范圍是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。與近代真空技術(shù)相關(guān)的壓力范圍達(dá)到19級(jí)(105 ~ 105 ~ 10 ~ 14pa)，任何真空計(jì)都無(wú)法測(cè)量這么大的壓力范圍，因此總是用幾種真空計(jì)管轄特定地區(qū)。但是由于各種真空計(jì)原理上的差異。相互嚙合的領(lǐng)域經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)很大的誤差。

　　在測(cè)量的空間中產(chǎn)生一定的物理現(xiàn)象，從測(cè)量的角度來(lái)看，需要簡(jiǎn)單的物理現(xiàn)象，但有時(shí)不可避免地帶來(lái)一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不僅會(huì)給測(cè)量量帶來(lái)誤差，有時(shí)還會(huì)出現(xiàn)“喧賓奪主”的問(wèn)題，完全掩蓋了主要現(xiàn)象。