美國mks流量計-GE50A015103S5V020流量計-美國mks流量計控制器
GE50A質(zhì)量流量控制器
GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質(zhì)量流量控制器，GE50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
美國mks流量計技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100%的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316不銹鋼。
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個月。
例：型號1179A00411CR1A5VXX 采購序列號
校準氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM－最大20000（相當?shù)獨猓?nbsp;
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件（與以下兼容）
標配：（兼容）SwagelokR4VCRR凸接頭 R
選配：（兼容）SwagelokR4VCOR凸接頭 G
選配：（兼容）SwagelokR0.25英寸管 S
長度適配器 w/ 4 VCR配件** L
長度適配器w/ 1/4" Swagelok配件*** W