美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計
最大限度降低漂移和熱效應。最大限度優(yōu)化真空處理結果
型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依賴型工藝的效率和性能最大化：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設備同時擁有各種業(yè)內領先的功能技術，可提升測量可靠性、最大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應最小化。
先進的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風險。此外，還有快速響應傳感器可供選擇，用于提供高級閉環(huán)控制性能。
結果：超精確、可重復并且高效的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進行抽真空時都能夠準確使其達到工藝所需的目標 Torr 值以實現潔凈、無污染生產。
美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計特點
適用于 0.10 Torr - 1000 Torr 過程真空度范圍
有多種精度水平可供選擇
Mark IV 專利傳感器
數字化架構可實現超高精確度的寬動態(tài)范圍操作
雙區(qū)域溫控功能可提高測量穩(wěn)定性和可重現性
多段數字校準功能可提供高級窗口顯示已知精度
智能觸控式零點調節(jié)
可單獨輕松訪問的診斷維護端口
DeviceNet® 和模擬通信選件
美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計優(yōu)勢
漂移較低，能夠為過程氣體沉積提供極好的保護
無需使用手動電位計，不存在電子漂移
快速預熱、閉閥溫度控制并能夠根據變化做出快速響應
多段校準功能可提供高級窗口顯示已知精度以及對環(huán)境溫度影響的實時補償
如果壓力過高或者未達到目標溫度則無法調零
診斷端口允許用戶在設備運行期間提供監(jiān)視和數據采集功能，實現倉室和工具匹配以及“實時”高級故障排除
超導體制造
薄膜沉積工藝 – 玻璃、網格和光學涂層
凍干易腐材料
適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術儀器、牙鉆等）