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美國MKS真空計(jì)-托差動(dòng)電容壓力計(jì)-226B

發(fā)布日期:2022-08-18 15:13:55

美國MKS真空計(jì)-托差動(dòng)電容壓力計(jì)-226B

226B 差分 Baratron® 是一款通用差分電容壓力計(jì),可提供從 0.2 到 1000 Torr 的滿量程測(cè)量范圍,并可配置各種配件、輸入/輸出信號(hào)和電氣連接器。它安裝在堅(jiān)固的工業(yè)級(jí)外殼中,可最大限度地減少對(duì)電子設(shè)備的外部 RF/EM 干擾,并且在正確配置后,與早期的 Baratron® 差壓計(jì)完全“直接”兼容。
 
從 1000 到 0.2 Torr 的差壓測(cè)量
氣體成分獨(dú)立的壓力測(cè)量
全焊接 Inconel® 傳感器耐腐蝕
四種不同的模擬輸出信號(hào),用于單向或雙向校準(zhǔn)
美國MKS真空計(jì)-托差動(dòng)電容壓力計(jì)-226B

226B11TCDCDFB2A1
真空壓力傳感器,差動(dòng),10 Torr,4 VCR-F,0-10 VDC,雙向,DB9
  
 
226a baratron 0.2-1000 torr 微分電容壓力計(jì) 226B12KBGBGFU3T1
壓力傳感器,差壓,100 kPa,0.1875 in. 管,0-5 VDC,單向,終端
 
 
226B12TCDCDFB2A1
真空壓力傳感器,差動(dòng),100 Torr,4 VCR-F,0-10 VDC,雙向,DB9
 
 
226B13TCDCDFB2A1
壓力傳感器,差壓,1000 Torr,4 VCR-F,0-10 VDC,雙向,DB9
 
 
226a baratron 0.2-1000 torr 微分電容壓力計(jì) 226B13TCDCDFB4T1
壓力變送器,差動(dòng),1000 Torr,4 VCR-F,4-20 mA,雙向,終端
 
226a baratron 0.2-1000 torr 微分電容壓力計(jì) 226B21MGAGAFB1T1
真空壓力傳感器,差動(dòng),20 mbar,NW16 ISO-KF,0-1 VDC,雙向,終端

規(guī)格

類型真空/壓力傳感器
測(cè)量類型微分
滿量程壓力范圍0.2、1、2、5、10、20、50、100、200 和 1000 Torr 以及以 kPa、mbar、英寸 H2O 和 cm H2O 為單位的等效值
輸出信號(hào)0-1VDC, 0 - 5VDC, 0-10VDC > 10 k Ω負(fù)載;或 2 線 4-20 mA 從 +24VDC 電源到 < 500 Ω 負(fù)載
配件類型標(biāo)準(zhǔn):0.25 英寸外徑(6.4 毫米)管
可選:各種
電連接器9 針 D 超小型標(biāo)準(zhǔn),接線端子和飛線可選
解析度滿量程的 0.01%
準(zhǔn)確性滿量程單向或雙向標(biāo)準(zhǔn)的 0.50%;滿量程的 0.30% 單向或雙向,以及讀數(shù)的 0.30%(僅限單向校準(zhǔn))
零溫度系數(shù)標(biāo)準(zhǔn)精度規(guī)格為 0.1% 滿量程/°C
跨度溫度系數(shù)讀數(shù)的 0.04%/°C
傳感器內(nèi)部容積測(cè)量側(cè) (Px):1.4 厘米
參考側(cè) (Pr):9.0 厘米
(配備標(biāo)準(zhǔn) 1/4 英寸(6.4 毫米)外徑入口和參考管時(shí))
環(huán)境工作溫度0-50°C
最大超壓測(cè)量側(cè) (Px):滿量程的 120% 或 20 psi (140 kPa),以較高者為準(zhǔn)
參考側(cè) (Pr):滿量程的 120%
最大管路壓力40 磅/平方英寸(275 千帕)
暴露材料測(cè)量面 (Px):Inconel
參考面 (Pr):Inconel、陶瓷、鈀、不銹鋼、玻璃
電源要求±15 VDC (±5%) 或 +13 VDC 至 +30 VDC @ 25 mA,紋波小于 20 mV
遵守CE,半 S2

特征

差壓測(cè)量
差分電容壓力計(jì)可以連接到任何壓力或真空源,用作參考?jí)毫Α_@些壓力計(jì)讀取入口管和電極背面的參考腔之間的壓力差。差壓傳感器可用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)位置之間的真實(shí)差壓或真空,或者產(chǎn)品的參考側(cè)可以保持打開狀態(tài),以提供當(dāng)?shù)卮髿鈮旱恼鎸?shí)參考。應(yīng)用包括過濾器和分析系統(tǒng)的空氣和氣體流量測(cè)量、薄膜處理系統(tǒng)中的下游壓力控制以及自動(dòng)泄漏測(cè)試系統(tǒng)。
 
Inconel® 鎳合金結(jié)構(gòu)
獲得專利的電容傳感器在其測(cè)量側(cè)完全由 Inconel® 鎳合金制成,可長(zhǎng)期提供出色的耐腐蝕性。Inconel® 結(jié)構(gòu)還提供高過壓容差,可減少因管線壓力峰值導(dǎo)致的錯(cuò)誤,以及有助于整體系統(tǒng)安全的高爆破壓力額定值。
 
多種比例模擬輸出
226 和 228 差分電容壓力計(jì)提供與壓力成線性關(guān)系的高電平模擬輸出信號(hào)。它可以在 ±15VDC 或 +24VDC 輸入電壓下工作,并提供四種不同的模擬輸出信號(hào)(0-10V、0-5V、0-1V 和 4-20 mA),可用于幾乎任何控制或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng). 傳感器和電子設(shè)備安裝在堅(jiān)固的工業(yè)級(jí)外殼中,具有很高的抗射頻和電磁干擾能力。
 
十二種不同的配件類型
這些 Baratron® 差分電容壓力計(jì)可以在測(cè)量或參考側(cè)配備十二 (12) 個(gè)不同的配件,包括常見的工業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),如 VCR®、NW-KF、VCO® 和 NPT。
 
Baratron® 電容壓力計(jì)技術(shù)
電容式壓力計(jì)是機(jī)電式儀表,可以測(cè)量壓力和真空。電容計(jì)將薄隔膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是薄隔膜,暴露在通過入口管測(cè)量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程和參考腔之間的壓力差會(huì)使隔膜略微偏轉(zhuǎn),從而改變隔膜與電極之間的距離。該距離的變化會(huì)產(chǎn)生隔膜和電極之間的電容變化,從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。
顯示內(nèi)部組件的電容式壓力計(jì)傳感器示意圖

配件

RCB226S-1-M1
壓力計(jì)電纜,PDR2000 控制器到 226A 壓力計(jì),10 英尺,RoHS
 
 
RCB226S-3-10
壓力計(jì)電纜,250 控制器至 226A 壓力計(jì),10 英尺,RoHS
 
 
RCB226S-2-10
壓力計(jì)電纜,660、PR4000B 或 651 控制器到 226A 壓力計(jì),10 英尺,RoHS

電源和顯示器

 

PR4000BF2V2
數(shù)字電源,顯示器,2 通道,RS232,±15VDC,1.5 安培
 
pr4000b 數(shù)字電源和讀數(shù) PR4000BF2V3
數(shù)字電源,顯示器,2 通道,RS232,±24VDC,1.0 安培
 
pr4000b 數(shù)字電源和讀數(shù) PR4000BF5V2
數(shù)字電源,顯示器,2 通道,RS485,±15VDC,1.5 安培
 
pr4000b 數(shù)字電源和讀數(shù) PR4000BS2V2
數(shù)字電源,顯示器,1 通道,RS232,±15VDC,1.5 安培
 
pr4000b 數(shù)字電源和讀數(shù) PR4000BS2V3
數(shù)字電源,顯示器,1 通道,RS485,±24VDC,1.0 安培
 
pr4000b 數(shù)字電源和讀數(shù) PR4000BF5V3
數(shù)字電源,顯示器,2 通道,RS485,±24VDC,1.0 安培
 
pdr2000a 雙通道數(shù)字電源和讀數(shù) PDR2000AO
數(shù)字電源,顯示器,2 通道,RS232,±15 VDC,0.75 安培
 
用于 baratron 電容壓力計(jì)的 4-20 毫安輸出模塊 1017474-001
模擬輸出模塊,4-20 mA,2 英尺電纜
 
用于 baratron 電容壓力計(jì)的 4-20 毫安輸出模塊 1017474-003
模擬輸出模塊,4-20 mA,20 英尺電纜