廣西供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)質(zhì)量

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程。

1，可應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等

2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

3，產(chǎn)品特點(diǎn)：

A,高精度

B,良好的線性

C,的響應(yīng)

D,電磁閥使用壽命≥100萬(wàn)次

E,對(duì)零點(diǎn)漂移有效的抑制

F,化的零配件供應(yīng)

G,通訊接口優(yōu)勢(shì)

H,多臺(tái)控制器可以同時(shí)運(yùn)行


日本HORIBA流量計(jì)型號(hào)SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計(jì))E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號(hào)

非通電時(shí)　關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型


日本HORIBA流量計(jì)概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本HORIBA流量計(jì)概要
質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。

高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。全世界正見(jiàn)著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

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