河北代理日本HORIBA流量計(jì)調(diào)零

日本HORIBA流量計(jì)其它型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號(hào)

非通電時(shí)?關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型

HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場(chǎng)份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí)，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的造成大威脅。針對(duì)這個(gè)問題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應(yīng)，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對(duì)這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運(yùn)行。?

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程。

STEC SMT-3000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SFC-480模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEF-11模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-7440模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-7340模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-7350模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-7330模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-4600模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-4500模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-4400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-300模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器

STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器

STEC LF-F/LV-F系列液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器

STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器

STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器

STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

STEC SEC-8000F/D高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器

STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器

STEC SEC-8000高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器


日本HORIBA流量計(jì)型號(hào)SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計(jì))E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號(hào)

非通電時(shí)　關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。