新疆供應(yīng)日本HORIBA流量計質(zhì)量
EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應(yīng)。 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手攜的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程。
·?適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪?!?低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導(dǎo)體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導(dǎo)體的微觀世界。HORIBA各個領(lǐng)域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標,我們已成功開發(fā)了一系列的分析設(shè)備,液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應(yīng)半導(dǎo)體制程中每一步工藝所需的嚴格質(zhì)量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產(chǎn)品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手攜的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。
相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計要求,為客戶提升產(chǎn)品價值。
高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。