云南供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)調(diào)零
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場(chǎng)份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí),管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定,甚至可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的造成大威脅。針對(duì)這個(gè)問題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列,通過響應(yīng),高精度,穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對(duì)這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運(yùn)行。?
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手?jǐn)y的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。相對(duì)于舊有的型號(hào),Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要,輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程。
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用??蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?),高精度(± 1.0% S.P. *1),響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
? HOIRBA集團(tuán)擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門,主要運(yùn)用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害,氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計(jì)穩(wěn)定工作,反應(yīng)源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。?
? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要:
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。