青海進口日本HORIBA流量計維修
SEC/N122JM氣體質量流量控制器概要
日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
型號;
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內的高速響應（1秒內）
簡化氣路線無需額外增加調節(jié)器，傳感器，過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響
搭載進氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）
輕巧的尺寸
50SLM內相同的配件尺寸
信號兼容
模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet?模式
數字信號控制
日本HORIBA流量計概要
質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產品?，F(xiàn)在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換?？蛻艨梢愿鶕瞥绦枰p松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數字式自動壓力調節(jié)器。根據不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。?
日本HORIBA流量計特征
高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數據也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節(jié)省了時間和成本。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。
?
Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.