江西供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)的詳細(xì)信息
日本HORIBA流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計(jì)
無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本HORIBA流量計(jì)(型號(hào):S48300/HMT)
1,可應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等
2,流量:(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3,產(chǎn)品特點(diǎn):
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應(yīng)
D,電磁閥使用壽命≥100萬(wàn)次
E,對(duì)零點(diǎn)漂移有效的抑制
F,化的零配件供應(yīng)
G,通訊接口優(yōu)勢(shì)
H,多臺(tái)控制器可以同時(shí)運(yùn)行
? UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及,響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號(hào)。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場(chǎng)份額。
HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征:
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS處理
日本HORIBA流量計(jì)概要
質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在,手?jǐn)y的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。
相對(duì)于舊有的型號(hào),Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程*2。
此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求,為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。
高性能的Z500系列流量計(jì),將帶給您更多驚喜。全世界正見(jiàn)著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。
此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求,為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。高性能的Z500系列流量計(jì),將帶給您更多驚喜。全世界正見(jiàn)著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。日本HORIBA流量計(jì)-SEF-Z542質(zhì)量流量計(jì)特征 高精度:設(shè)定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.
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