黑龍江供應日本HORIBA流量計聯(lián)系方式
日本HORIBA流量計型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關(guān)閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計(型號：S48300/HMT)
1，可應用行業(yè)：真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等
2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3，產(chǎn)品特點：
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應
D,電磁閥使用壽命≥100萬次
E,對零點漂移有效的抑制
F,化的零配件供應
G,通訊接口優(yōu)勢
H,多臺控制器可以同時運行
日本HORIBA流量計/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計
無錫飛斯卡精密科技有限公司
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導體制造設備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手攜的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。
1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。
日本HORIBA流量計其它型號
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計)
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時?關(guān)閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。