廣西進(jìn)口日本HORIBA流量計調(diào)零
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時,對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在對流量進(jìn)行計測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。日本HORIBA流量計Gas Mass Flow Controllers / Meters
SEC/N122JM氣體質(zhì)量流量控制器概要
日本HORIBA流量計特征
高精度:設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進(jìn)行補償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標(biāo)準(zhǔn)。