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HORIBA質(zhì)量流量計(jì)
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  • 產(chǎn)品分類(lèi):HORIBA質(zhì)量流量計(jì)
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HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在,手?jǐn)y的技術(shù),HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。相對(duì)于舊有的型號(hào),Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶(hù)所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶(hù)可以根據(jù)制程需要,輕松地更改流量計(jì)氣體種類(lèi)和量程。


所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。日本HORIBA流量計(jì)Gas Mass Flow Controllers / Meters


EC-Z500X 使用了開(kāi)發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí),PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整,即使在氣體種類(lèi)和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶(hù)輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類(lèi)和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái),就可以很大程度上減少客戶(hù)備品的數(shù)量,同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。



日本HORIBA流量計(jì)概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本HORIBA流量計(jì)特征
高精度:設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類(lèi)的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開(kāi)發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí),PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整,即使在氣體種類(lèi)和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶(hù)輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類(lèi)和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái),就可以很大程度上減少客戶(hù)備品的數(shù)量,同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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