湖北供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)調(diào)零

日本HORIBA流量計(jì)規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標(biāo)稱流量.


日本HORIBA流量計(jì)型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計(jì))E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型

? UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及，響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額。 HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征： 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS處理

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