陜西供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)說明書

? HOIRBA集團(tuán)擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運(yùn)用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計(jì)穩(wěn)定工作，反應(yīng)源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標(biāo)稱流量.

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。

SEC/N122JM氣體質(zhì)量流量控制器概要

HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí)，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會(huì)對整臺(tái)設(shè)備的造成大威脅。針對這個(gè)問題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應(yīng)，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運(yùn)行。?

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