重慶代理日本HORIBA流量計的簡單介紹

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。

? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產品概要：

此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質量流量計特征 高精度：設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時?關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。