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MKS流量控制器
河南供應美國mks流量計使用手冊
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  • 產(chǎn)品分類:MKS流量控制器
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美國mks流量計技術規(guī)格類型:質(zhì)量流量控制器校準氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:20-1000sccm滿量程流量范圍:1000sccm配件類型:4錄像機男性密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性:讀數(shù)的0.3%解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%預熱時間:30分鐘


嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力,從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。成熟的專利熱傳感器設計提供了的零點穩(wěn)定性。美國專利號5461913。美國mks流量計產(chǎn)品系列概述GE50A彈性體密封的5-50,000sccm質(zhì)量流量控制器類型:質(zhì)量流量控制器校準氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:2-100sccm滿量程流量范圍:100sccm配件類型:0.25英寸。世偉洛克風格密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性:讀數(shù)的0.3%


GE50A彈性體密封的5-50,000sccm質(zhì)量流量控制器類型:質(zhì)量流量控制器校準氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:2-100sccm滿量程流量范圍:100sccm配件類型:0.25英寸。世偉洛克風格密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性:讀數(shù)的0.3%解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%


HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 / 臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們的氣體流量校準系統(tǒng),對品牌的MFC都可的清洗校準。


工作溫度:10-50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝儲存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關閉的閥門泄漏完整性:高達10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從英國國教會G系列GE50A013103SMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內(nèi)對設定值做出和可重復的響應。它的滿量程流量范圍為100sccm,控制范圍為2至1000sccm,具有接地的15引腳D-submixture連接器,以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。美國mks流量計產(chǎn)品系列概述


美國mks流量計G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內(nèi)對設定值做出、可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。數(shù)字校準在校準氣體上產(chǎn)生1%的設定點精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設備利用的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內(nèi)對設定點提供和可重復的響應。典型的響應時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


類型:質(zhì)量流量控制器 校準氣體:N2(或同等產(chǎn)品) 控制范圍:2 - 100 sccm 滿量程流量范圍:100 sccm 配件類型:0.25英寸。世偉洛克風格 密封材料:氟橡膠 流量輸入輸出信號:0 - 5伏直流電 模擬連接器:15針D-sub(接地) 大入口壓力:150磅/平方英寸 正常工作壓差:10至40磅/平方英寸 耐受壓力:1000磅/平方英寸 破裂壓力:1500磅/平方英寸

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空
和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /
臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀
光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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