根據(jù)復合真空計測量原理使用的物理機制，將主要真空計分為三類：利用力學性能、利用氣體動力學效果和利用電粒子效果的真空計。

　　復合真空計利用力學性能的真空計是典型的波頓量規(guī)和薄膜量規(guī)。復合真空計利用氣體動力學效應的典型真空計有菲拉尼電阻計和熱電偶計。復合真空計利用電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離計和冷陰極電離計。

　　1.波頓條例

　　細長的銅管根據(jù)氣體壓力有拉伸現(xiàn)象，旋轉杠桿和齒輪，使指針顯示在不同的刻度上，以便讀取相應的氣壓值。這個儀表盤的測量范圍一般在100Pa  ~ 1atm之間。

　　2.薄膜容量規(guī)

　　在不同的壓力下，金屬膜在力不同的情況下會有不同尺度的變形，通過測量金屬膜和電極之間的電容變化，可以知道金屬膜中氣壓的變化。此儀表盤的測量范圍通常為0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

　　這種規(guī)則的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是要在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用。為了消除溫差對膜片力學性能的影響，一般需要預熱幾個小時。

　　3.菲拉尼電阻計

　　也稱為熱電阻真空計，它利用電阻和溫度之間關系的原理工作。由于氣壓不同氣體分子的熱傳導能力不同，在對烈士施加一定電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導的熱量不同，烈士維持的溫度不同，因此烈士阻力大小不同，可以通過測量烈士阻力大小來估算氣壓大小。配合電橋測量烈士電阻的變化，可以有效提高測量的準確度。此儀表盤的測量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。由于不同氣體在相同氣壓下的熱導率不同，因此，該規(guī)定應根據(jù)不同的使用氣體進行測量。

　　4.熱電偶規(guī)

　　熱電偶計與菲拉尼電阻計的基本原理一致，但不是測量火線電阻的變化，而是使用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。測量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。和菲拉尼阻力計一樣，這一規(guī)則也需要在不同的使用氣體中加以糾正。

　　5.熱陰極電離規(guī)

　　在熱陰極電離計中，熱陰極，即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，收集極收集的離子形成離子電流，通過測量離子電流的大小，可以估算真空中氣體分子的密度，從而得到壓力大小。此量規(guī)的測量范圍通常為1.0E-05Pa至0.1Pa。改進的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert法規(guī)可以將測量下限降低到1.0E-09Pa。由于同一氣壓下氣體的電離率不同，因此使用時也要在不同氣體下進行校正。