云南供應日本HORIBA流量計調(diào)零
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當供氣壓力突然發(fā)生變化時,管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定,甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列,通過響應,高精度,穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,并確保氣體質量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。?
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手攜的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程。
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用??蓪崿F(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?),高精度(± 1.0% S.P. *1),響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門,主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害,氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作,反應源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。?
? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要:
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。