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美國mks流量計g系列-GE50A彈性體密封的5-50,000-sccm質(zhì)量流量控制器-GE50A013102RMV020

發(fā)布日期:2022-08-03 16:09:35

美國mks流量計g系列-GE50A彈性體密封的5-50,000-sccm質(zhì)量流量控制器-GE50A013102RMV020


美國mks流量計G系列GE50A013102RMV020概觀

 

數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用最新的MKS控制算法,在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出快速和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為100 sccm,控制范圍為2至100 sccm,具有接地的15引腳D-sub mixture連接器,以及0-5 VDC流量輸入/輸出信號。

 

產(chǎn)品系列概述
GE50A彈性體密封的5-50,000 sccm質(zhì)量流量控制器

 

美國mks流量計G系列GE50A013102RMV020技術(shù)規(guī)格

美國mks流量計G系列GE50A013102RMV020技術(shù)規(guī)格

類型:質(zhì)量流量控制器
校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)
控制范圍:2 - 100 sccm
滿量程流量范圍:100 sccm
配件類型:4錄像機男性
密封材料:氟橡膠
流量輸入輸出信號:0 - 5伏直流電
模擬連接器:15針D-sub(接地)
最大入口壓力:150磅/平方英寸
正常工作壓差:10至40磅/平方英寸
耐受壓力:1000磅/平方英寸
破裂壓力:1500磅/平方英寸
典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2%
可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%
解決:滿量程的0.1%
零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃
跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的% 3c 0.08%/C
入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸
典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%
預(yù)熱時間:30分鐘
工作溫度:10 - 50攝氏度
儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝
儲存溫度:-20至80攝氏度
外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS,20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
表面拋光:16英寸平均半徑
重量:3磅(1.4千克)
服從:英國國教會