美國mks流量計G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出快速、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點精度。
1、流速從5到50，000 sccm
2、氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項
3、廣泛選擇數(shù)字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立時間
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型號 |
滿量程流量范圍 |
配件類型 |
密封材料 |
價格 |
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GE50A013101RMV020 |
10 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013102RMV020 |
100 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013102SMV020 |
100 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013103RMV020 |
1000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013103SMV020 |
1000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013201RMV020 |
20 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013202RMV020 |
200 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013203RMV020 |
2000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013204RMV020 |
20000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013204SMV020 |
20000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013501RMV020 |
50 sccm |
4VCR Male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013502RMV020 |
500 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
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GE50A013503RMV020 |
5000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
規(guī)范
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類型
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質(zhì)量流量控制器
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跨度溫度系數(shù)
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讀數(shù)的% 3c 0.08%/C
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控制范圍
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滿量程的2%至100%
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入口壓力系數(shù)
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讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸
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滿量程流量范圍
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5 - 50，000 sccm
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典型建立時間
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%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%
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密封材料
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氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez
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預(yù)熱時間
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30分鐘
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模擬連接器
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9引腳或15引腳D-sub minimum
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工作溫度
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10攝氏度至50攝氏度
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最大入口壓力
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150磅/平方英寸
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儲存濕度
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0至95%相對濕度，非冷凝
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正常工作壓差
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10到5000 sccm10至40 psid，10000至20000 sccm15至40 psid，30000至50000 sccm25至40磅/平方英寸
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儲存溫度
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-20至80攝氏度
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耐受壓力
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1000磅/平方英寸
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通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性
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高達10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
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破裂壓力
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1500磅/平方英寸
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典型精度
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20至100%滿量程時為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2%
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濕材料
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316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
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可重復(fù)性
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讀數(shù)的0.3%
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表面拋光
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16英寸平均半徑
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解決
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滿量程的0.1%
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重量
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3磅(1.4千克)
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零溫度系數(shù)
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%3C0.05%滿量程/℃
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服從
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英國國教會
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特征
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數(shù)字輸入輸出 |
DeviceNet |
RS485 |
過程現(xiàn)場總線（process field bus的縮寫） |
以太貓 |
PROFINET |
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所需輸入功率 |
+11至+25伏直流電每(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
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連接器 |
5針微型連接器(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源)
9針D型內(nèi)螺紋(通用) |
2個RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
2個RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
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數(shù)據(jù)速率切換/選擇 |
4個位置:125，250，500K(默認(rèn))
(可通過網(wǎng)絡(luò)編程) |
無開關(guān)通過RS485設(shè)置數(shù)據(jù)速率 |
無開關(guān)通過Profibus設(shè)置數(shù)據(jù)速率 |
沒有開關(guān) |
沒有開關(guān) |
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商業(yè)匯率 |
125 Kbps250 Kbps500 Kbps |
9.6 Kbps19.2 Kbps 38.4 Kbps |
9.6 Kbps至12 Mbps |
100 Mbps |
100 Mbps |
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MAC ID交換機/地址 |
2個開關(guān)，10個位置；0.0到6.3 1到254 |
通過RS485站地址0，0至9，9設(shè)置地址 |
2個開關(guān)，10個位置 |
3個開關(guān)，16個位置 |
不適用的 |
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網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 |
多達64個節(jié)點 |
多達32個節(jié)點 |
多達99個節(jié)點 |
多達4095個節(jié)點 |
不適用的 |
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視覺指示器 |
LED網(wǎng)絡(luò)(綠色/紅色)
LED模塊(綠色/紅色) |
LED通信(黃色)
LED錯誤(紅色) |
LED通信(綠色/紅色)
LED錯誤(綠色/紅色) |
LED電源(綠色)
LED運行(綠色)
LED錯誤(紅色)
LED通信(綠色) |
LED維護(琥珀色)
LED總線故障(紅色)
LED就緒(綠色)
LED系統(tǒng)故障(紅色) |
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服從 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
英國國教會 |
廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇
GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點提供快速和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179A MFCs的相同I/O類型。所有GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。
標(biāo)準(zhǔn)3英寸尺寸
GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范圍內(nèi)的MFC，無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
所有金屬浸濕表面
GE50A的設(shè)計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，所有潤濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體
設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比
對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點精度，使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量，精度為滿量程的0.2%。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
專利熱傳感器
成熟的專利熱傳感器設(shè)計提供了卓越的零點穩(wěn)定性。美國專利號5461913。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空
和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /
臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀
光潔如新，性能可靠，原廠驗收標(biāo)準(zhǔn)。