SLA 系列彈性體密封壓力控制器

金屬密封熱 MFC

GP200 系列 金

屬密封 P-MFC

wxfsk888@163.com

利用我們的熱 MFC 核心技術(shù)，通過閉 環(huán)控制消除下垂、升壓和滯后。

超快的響應(yīng)速度和高純度的全金屬 流動(dòng)通道能夠最大程度減少污染， 提高產(chǎn)量。

我們最先進(jìn)的 GP200 MFC 是首款 全壓力不敏感的 P-MFC，采用獨(dú)特 的設(shè)計(jì)方法，能夠在各種各樣的運(yùn)行 條件下實(shí)現(xiàn)最終精密工藝氣體輸送。

能夠在極低流量應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)最精確 的測量和控制。

• 用于 SLA 系列質(zhì)量流量設(shè)備，最大程 度提高工藝一致性成效

• 廣泛的壓力測量和控制范圍

• 下游或上游控制模式

• 耐用、穩(wěn)定的金屬頂蓋可防止設(shè)備在 安裝期間受損

• 可單獨(dú)輕松訪問的診斷/維護(hù)端口

•  SLAMf 系列采用 NEMA4X/IP66 防 護(hù)等級硬化外殼，能夠勝任軟管沖洗/

虹吸應(yīng)用。

• 適用于對水分或氧氣敏感的工藝

• 超穩(wěn)定、高精度的測量傳感器

• 快速精密控制閥

• 高完整性(密封) 、超高純度、全金屬 潤濕流動(dòng)通道

• 耐腐蝕的 Hastelloy® 傳感器

•  MultiFlo™  可編程多氣體和多量程 功能

• 實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測和壓力瞬態(tài)不敏 感技術(shù)

• 一個(gè)真正的壓差傳感器提供卓越的流 量測量精度和可重復(fù)性，同時(shí)降低測 量不確定性

• 專為低壓降而設(shè)計(jì)的層流元件使 GP200 成為所有壓力、氣體和工藝 理想的通用 P-MFC 解決方案。

• 嵌入式 MultiFlo™ 氣體型號支持實(shí)時(shí) 重新配置氣體和流量范圍，以獲得最 大的工藝靈活性

• 零泄漏控制閥可將閥門關(guān)閉性能提 高 100 倍(可選)

• 通信協(xié)議：DeviceNet™、EtherCAT® 和 RS485

• 真實(shí)的質(zhì)量流量測定結(jié)果，不是來自 于推斷

• 固有的流體密度計(jì)

• 質(zhì)量流量或體積流量和密度或溫度 的可選多變量輸出

• 對流體類型不敏感

• 多種多樣的外殼供選項(xiàng) — 高達(dá) NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級

• 高壓性能可滿足嚴(yán)苛的研究應(yīng)用需求

•  Zone 2 和 Class 1 Division 2 的可選 危險(xiǎn)區(qū)域認(rèn)證

• 內(nèi)置用戶可設(shè)置的警報(bào)和診斷功能

• 壓力控制范圍 —

o 標(biāo)準(zhǔn)：20 比 1，高達(dá) 1500 psi (100 bar)

o 可選：高達(dá) 4500 psi (310 bar)

• 流量范圍 — 3 sccm – 50 lpm

• 精度 —

o 傳感器滿量程的 ±0.25%(滿量程 >300 psia)

o 傳感器滿量程的 ±0.12%(滿量程 <300 psia)

• 最大壓力 — 4500 psia (310 bar)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 300 slm

• 精度 — SP 的 ±1%

• 最大壓力 — 高達(dá) 500 psia (34.4 bar)

• 溫度范圍 — 5–65°C (40 -149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 50,000 sccm

• 精度 — SP(滿量程的 5-100%)的 ±1%

• 最大壓力 — 高達(dá) 60 psia (4 bar)

• 溫度范圍 — 10-60°C (50-140°F)

• 流體類型 — 氣體和液體

• 流量范圍 — 1–27,000+ gm/hr

• 精度 — 流速的 0.2–0.5%

• 最大壓力 —

o 標(biāo)準(zhǔn) 500 psi (34 bar)

o 可選 1500 (103 bar) 或 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — 0-60°C (33-140°F)

SLA 系列

通用熱 MFC

美國BROOKS流量計(jì)-GF40 系列MultiFloTM  熱 MFC

5850E 和 i 系列

模擬熱 MFC

SLAMf 系列

NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級 熱 MFC

經(jīng)驗(yàn)證的的 MFC，適用于各種各樣的 質(zhì)量流量需求和應(yīng)用，可提供卓越的 結(jié)果和更低的總擁有成本。

設(shè)備設(shè)計(jì)緊湊，只需一臺即可測控多 種氣體和流量，最大限度地提高工藝 靈活性和生產(chǎn)力，同時(shí)保持精確度。

極其可靠、準(zhǔn)確和可重復(fù)的測量及控 制性能可滿足嚴(yán)苛的工業(yè)流程需求。

經(jīng)實(shí)踐考驗(yàn)的 SLA5800 具有高精 度和長期穩(wěn)定性，配有專門設(shè)計(jì)的 NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級硬化外殼， 適用于最惡劣的環(huán)境。

• 卓越的長期漂移穩(wěn)定性和業(yè)內(nèi)首屈 一指的 MTBF

• 行業(yè)領(lǐng)先的設(shè)備線性度、可重復(fù)性和 可再現(xiàn)性

• 廣泛的流量和壓力量程

• 可編程多氣體和多量程功能

• 獨(dú)立且易于訪問的維護(hù)端口簡化了 安裝、診斷和故障排除

• 與 SLA 系列壓力控制器配套使用，可 消除下垂、升壓和滯后

• 專為生物技術(shù)應(yīng)用設(shè)計(jì)的全新選項(xiàng) 套裝

•  MultiFlo™ 技術(shù)使一臺 MFC 能夠支 持?jǐn)?shù)千種氣體類型和量程組合，無需 將其從氣體管路中拆除或影響精確度

• 卓越的工藝氣體精度

• 適用于一系列的氣體

• 廣泛的流量和壓力量程

• 流量可隨指令變化做出快速響應(yīng)，過 沖/下沖可忽略不計(jì)

• 僅模擬輸入/輸出，使安裝和維護(hù)更 輕松快捷

•  NEMA 4X/IP66 防護(hù)等級硬化外殼， 適用于軟管沖洗/虹吸應(yīng)用

• 危險(xiǎn)區(qū)域認(rèn)證和批準(zhǔn)：ATEX、CE、 IECEx、KOSHA、UL(認(rèn)證) Class 1 Division 2 和 Zone 2

• 廣泛的流量、溫度和壓力范圍

• 可編程多氣體和多量程功能

• 與 SLA 系列壓力控制器配套使用，可 消除下垂、升壓和滯后

• 專為生物技術(shù)應(yīng)用設(shè)計(jì)的全新選項(xiàng) 套裝

• 支持包括 EtherNet/IP™ 和          PROFINET® 在內(nèi)的各種通信協(xié)議

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 臺認(rèn)證設(shè)備可達(dá)到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大壓力 —

o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psi (100 bar)

o 可選 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 50 slpm

• 精度 — SP(滿量程的 35-100%)  的 ±1%

• 最大壓力 — 150 psig (10 bar)

• 溫度范圍 — 5-50°C (41-122°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 1000 lpm

• 精度 — 滿量程的 ±1%

• 最大壓力 — 1500 psig (100 bar)

• 溫度范圍 — 5-65°C (41-149°F)

• 流體類型 — 氣體

• 流量范圍 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 臺認(rèn)證設(shè)備可達(dá)到 SP(滿量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大壓力 —

o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psi (100 bar)

o 可選 4500 psi (310 bar)

• 溫度范圍 — -14-65°C (7-149°F)

Sho-Ratem 系列

玻璃管 VA 流量計(jì)

GT1600 系列 玻

璃管 VA 流量計(jì)

MT3750 系列

金屬管 VA 流量計(jì)

MT3809 系列 金

屬管 VA 流量計(jì)

簡單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可確保低流量和高

簡單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可確保低流量和高

具備在惡劣的環(huán)境下實(shí)現(xiàn)可靠、耐用、

具有最廣泛的溫度、壓力和流量量程，

流量氣體和液體應(yīng)用的持久性能，而

流量氣體和液體應(yīng)用的持久性能，而

低流量測量的性能。

適用于在危險(xiǎn)、偏遠(yuǎn)地區(qū)測定流體。

這些應(yīng)用中觀察工藝至關(guān)重要。

這些應(yīng)用中觀察工藝至關(guān)重要。

• 體類型 — 清潔液體和氣體

• 流量范圍 —

o 空氣：高達(dá) 15 scfm / 425 slpm

o 水：高達(dá) 5 gpm / 19 lpm

• 精度 — 滿量程的 ±3、±5、±10%

• 最大壓力 — 200 psig (13.8 bar)

• 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F)

• 體類型 — 清潔液體和氣體

• 流量范圍 —

o 空氣：高達(dá) 150 scfm/270 m3n/hr

o 水：高達(dá) 21 gpm/4,800 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±2、±5、±10%，級 別 2.5 acc VDI/VDE(可選滿量程的

±1% FS，Class 1.6 acc VDI/VDE)

• 最大壓力 — 500 psig (34.5 bar)

• 溫度范圍 — 1-121°C (33-250°F)

• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽

• 流量范圍 —

o 空氣：高達(dá) 110 scfh/3.1 m3n/hr

o 水：高達(dá) 26 gpm/100 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±3、±5%

o Class 2.5、4.0 VDI

• 最大壓力 —

o 標(biāo)準(zhǔn) 1500 psig (100 bar)

o 可選 4000 psig (276 bar)

• 溫度范圍 — -50-204°C (-58-400°F)

• 流體類型 — 清潔液體、氣體和蒸汽

• 流量范圍 —

o 空氣：高達(dá) 750 scfm/1200 m3n/hr

o 水：高達(dá) 440 gpm / 100,000 l/h

• 精度 — 滿量程的 ±1%、±2%、±3% 、±5%

o Class 1.6、2.5、4.0 VDI

• 最大壓力 —

o 標(biāo)準(zhǔn) 6000 psig (413.7 bar)

o 可選 20,000 psig (1379 bar)

• 溫度范圍 — -198-420°C (-325-788°F)

XacTorr 系列電容式壓力計(jì)

VersaTorr 系列真空計(jì)

機(jī)械壓力表、開關(guān)和變送器

美國BROOKS流量計(jì)SolidSense II® 壓力傳感器

先進(jìn)的真空測量技術(shù)幾乎消除了漂移

適用于許多真空應(yīng)用的多合一超寬

卓越的多功能性和可靠性與耐用的設(shè)

在超高純度和特種氣體應(yīng)用中通過

并提供了更長的使用壽命。

范圍氣體測量解決方案。

計(jì)和材料相輔相成，可滿足各種工業(yè) 流程的應(yīng)用需求。

可靠的壓力監(jiān)測實(shí)現(xiàn)智能、精密的 數(shù)字測量。

• 屏蔽傳感器可防止顆粒積聚

• 雙區(qū)溫度控制提高了測量穩(wěn)定性和 可重復(fù)性

• 數(shù)十年的數(shù)字校準(zhǔn)提供了卓越的已 知精度窗口

• 獨(dú)立診斷服務(wù)端口

• 加熱或不加熱 可用型號

• 9 個(gè)十進(jìn)制的超寬測量范圍

• 可編程設(shè)置和參數(shù)

• 熱損失 MEMS Pirani 可在中低真空 范圍內(nèi)進(jìn)行最準(zhǔn)確的測量• Tri-Sensor Transducer 型號使用精密 電容膜片規(guī)傳感器來消除 氣體依賴

•  2 英寸不銹鋼固態(tài)開關(guān)和變送器

• 可調(diào)節(jié)壓力開關(guān)設(shè)定點(diǎn)，用于操作燈 或繼電器

• 多個(gè)工藝連接和插座方向

•  316L 鋼可承受惡劣環(huán)境

• 在無氧室中焊接，符合苛刻的高純度 應(yīng)用的嚴(yán)格清潔和安全標(biāo)準(zhǔn)

• 材料無焊接，耐腐蝕

• 在具有出色的零位穩(wěn)定性，精度為滿 量程的 0.25%

• 型號適用于集成顯示器或全功能可 編程顯示器

• 數(shù)字熱補(bǔ)償采用多點(diǎn)溫度補(bǔ)償法

• 專有的微加工硅應(yīng)變計(jì)可達(dá)到極低 的零點(diǎn)漂移

• 壓力范圍 — 0.1 至 1000 Torr

• 準(zhǔn)確度 — 讀數(shù)的 ±0.15% 至 0.25%

• 溫度范圍 — 環(huán)境溫度至 160°C

• 測量范圍 — 4 十年

• 壓力范圍 — 7.5x10¯7   至 1000 Torr

• 準(zhǔn)確度 — 讀數(shù)的 ±5% 至 ±0.5%

• 溫度范圍 — 環(huán)境溫度至 50°C

•  測量范圍 — 9 十年

• 壓力范圍 — 高達(dá) 4000 psi (276 bar)

• 精度 — 滿量程的 1%

• 具有邏輯輸出的開關(guān)：

o 斷開–接通和類型 1 (0 到 9-30 Vdc)

o 類型 2(8 至 30 Vdc)和

o 類型 3(0 至 5 Vdc)

• 具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)輸出的變送器 — 4–20 mA；0-5 Vdc；1–5 Vdc

• 壓力范圍 — -15–3000 psi (205 bar)

• 精度 — 滿量程的 1%

• 輸出類型 — 模擬電壓或電流

• 認(rèn)證 — CE、FM 和 ATEX