美國BROOKS流量計金屬密封熱 MFC手冊，金屬密封熱式質量流量控制器和儀表
最高純度氣路。超高精確，無污染的控制。
現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。
金屬密封熱 MFC關鍵應用
硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP
化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應用
選擇最適合自身工藝需求的質量流量設備。
金屬密封熱 MFC產品
|
型號 |
|
GP100系列 |
美國BROOKS流量計GP80系列 |
美國BROOKS流量計5850EM系列 |
|
產品類型 |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
Mass Flow Controller |
|
區(qū)別 |
EtherCAT Communication
High Purity/Ultra-High Purity
Embedded Diagnostics
Ultra-stable Flow Sensor
Improved Valve Shutdown
|
High Purity/Ultra-High Purity
Standard GF Series
High Flow GF Series
Ultra-Fast Response Time
Pressure Transient Insensitivity
|
High Purity |
Large installed base with proven long term performance |
|
流量范圍-滿量程容量-液體 |
— |
— |
— |
— |
|
密封材料 |
Metal |
Metal |
Metal |
Metal |
|
純凈等級 |
5 - 10µ inch Ra |
4 - 10µ inch Ra |
16µ inch Ra |
316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
|
精度 |
Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%
High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%
|
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35%
|
±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. < 5-35%
|
1% F.S. incl. linearity
1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm
|
|
重復性 |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.15% S.P. |
< ±0.2% S.P. |
0.2% of rate |
|
響應時間-常閉 |
Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
|
Normally Closed Valve:
300 ms - < 700 ms
700 ms - < 1 sec
SDS Gas Delivery: < 3 sec
|
Normally Closed Valve: <1 sec |
Normally Closed Valve: <3 sec
Optional: 600 msec
|
|
瞬時壓力波動不敏感 |
Specific models |
<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike |
— |
— |
|
多氣體多量程 |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Standard (most models) |
MultiFlo™ Available |
— |
|
診斷能力 |
Available |
Available |
Available |
— |
|
模擬通訊 |
— |
0-5 Vdc |
0-20 mA
4-20 mA
0-5 Vdc
0-10 Vdc
|
4-20 mA
0-5 Vdc
|
|
數字通訊 |
EtherCAT® |
DeviceNet™
RS485 L-Protocol
|
DeviceNet™
Profibus®
RS485 S-Protocol
RS485 L-Protocol
RS485 A-Protocol (GF081)
|
— |
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：美國mks流量計,美國BROOKS流量計金屬密封熱 MFC手冊,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規(guī)、四極質譜儀、壓強控制系統(tǒng)、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。