最快、最準(zhǔn)確的 MFC
以美國BROOKS流量計-GP100EtherCAT的速度增強(qiáng)
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

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半導(dǎo)體工藝的完美性能
嵌入式診斷利用實(shí)時EtherCAT?數(shù)據(jù)采集功能
超穩(wěn)定的流量傳感器（每年 ≤ 0.15% 的 SP 漂移）可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的低設(shè)定點(diǎn)精度并降低維護(hù)要求
改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤ 0.15% 的 bin 范圍）減少閥門泄漏以減少第一晶圓效應(yīng)
新增強(qiáng)的壓力瞬態(tài)不敏感性降低了串?dāng)_敏感性，以實(shí)現(xiàn)一致的質(zhì)量流量輸送

美國BROOKS流量計-GP100EtherCAT特征
每年<±0.15%滿量程的長期零穩(wěn)定性
穩(wěn)定時間：300 ms - <1 秒
滿量程流量高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路：可選 5μ 或 10μ 英寸 Ra 表面光潔度
耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器提高了高溫下的測量重現(xiàn)性?
MultiFlo TM氣體和量程可編程性——一個設(shè)備，數(shù)千種氣體類型和量程組合，無需從氣體管路中移除 MFC 或影響精度
方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除
GF120 安全輸送系統(tǒng) (SDS?) 是 Brooks 最先進(jìn)的低壓降質(zhì)量流量控制器，用于輸送植入和蝕刻工藝中使用的低于大氣壓的安全輸送系統(tǒng) (SDS) 氣體

美國BROOKS流量計-GP100EtherCAT好處
卓越的性能
快速反應(yīng)時間提高應(yīng)用效率
靈活的拓?fù)?br /> 幾乎無限的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)淇赡?br /> 簡單而強(qiáng)大
配置、診斷和維護(hù)
負(fù)擔(dān)能力
標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)端口

美國BROOKS流量計-GP100EtherCAT應(yīng)用
半導(dǎo)體蝕刻工具
薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)

參數(shù)

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