云南供應日本HORIBA流量計選型
· 適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪。· 低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領(lǐng)域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標,我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備,液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質(zhì)量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產(chǎn)品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當供氣壓力突然發(fā)生變化時,管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定,甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列,通過響應,高精度,穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。
UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及,響應迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額。 HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征: 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS處理
HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門,主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害,氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作,反應源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。 常見的壓力控制器UR-Z700系列 HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要:
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。