美國BROOKS流量計-5850EM 系列金屬密封熱式質量流量控制器

型號 5850EM / 5851EM
5850EM 系列金屬密封質量流量控制器測量和控制超潔凈環(huán)境中的高壓氣體流量，其穩(wěn)定性基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能。其金屬密封結構和電拋光潤濕表面確保出色的流動完整性，并通過消除對氣體壓力的持續(xù)監(jiān)測和重新調整以提供穩(wěn)定的氣體流動的需要，幫助提高整體工藝效率。

概述

特征
每年<0.2%滿量程的長期零穩(wěn)定性
<3 秒的穩(wěn)定時間來命令更改，過沖/下沖可忽略不計
流量范圍寬——從 3 sccm 到 30,000 slpm
高壓等級 - 高達 1,500 psi
可選的增強工藝內部光潔度 - 5μ 英寸 Ra avg
可拆卸流量傳感器
對安裝姿態(tài)不敏感
與其他質量流量控制器機械和電氣兼容
TTL 兼容“閥門關閉”和吹掃功能
好處
全金屬流路提高了氣體純度并減少了泄漏
在廣泛的過程和應用范圍內經過驗證的長期穩(wěn)定性和準確性
可靠的性能帶來出色的投資回報
可拆卸流量傳感器無需連續(xù)監(jiān)測和重新調整氣壓
通過僅模擬輸入/輸出輕松安裝和維修
應用
光纖
LED / MOCVD
半導體
太陽的

規(guī)格：

產品類別質量流量控制器
微分器
具有久經考驗的長期性能的大型安裝基礎

表現
流量范圍（滿量程）3 立方厘米 - 30,000 立方厘米
準確性
1% FS 包括 線性度

1.5% FS 含 線性度 >20 slpm

重復性
費率的 0.2%

線性度
±0.5% FS（包括在精度中）

響應時間
常閉閥：<3 秒

可選：600 毫秒

多氣體和范圍可配置性
—

壓力瞬態(tài)不敏感—
控制范圍
2-3% - 100%

箱數
不適用

閥門關閉
不適用

零穩(wěn)定性< ±0.5% FS 每年
機械的
密封材料金屬
純度水平/表面光潔度
316L VAR、316L 和高合金鐵素體不銹鋼

接液材料
閥座：316L、Viton ?氟橡膠、Buna-N、Kalrez ?或 Teflon ?

閥門選項
常閉、常開

儀表（無閥門）

收視率
最高溫度65攝氏度_
差壓范圍
5 - 50 psi（取決于氣體和范圍）

最大壓力
1500 磅/平方英寸

泄漏完整性1x10 -10 atm cc/sec He
診斷和顯示
診斷能力—

狀態(tài)燈MFC 運行狀況、網絡狀態(tài)
警報
控制閥輸出，網絡中斷

診斷/服務端口
不適用

?

電氣
模擬通信
4-20毫安

0-5 伏直流電

數字通信
—

電氣連接
15 針 D 連接器 (DA-15P)

電源/消耗
常閉閥：3.25 瓦

常開閥：10.5 瓦

遵守
電磁兼容
(89/336/EEC) 每 61326

環(huán)境合規(guī)
不適用